光波干涉測量法所用的平面平晶是利用派利克斯玻璃、熔凝水晶或折光系數為1.516的光學玻璃制造，使之成為具有平直工作端面的透明圓柱體。所用的光源常采用單色光源，如鈉光燈。檢測時，將平晶放到被檢的密封端面上，斜上方用鈉光燈照射檢查干涉條紋的數量。
鈉光的波長0.589mm，每條干涉帶相當于平晶與被測表面間有半個波長的距離。即一條干涉條紋為0.29um，由干涉條紋的數量即可確定密封端面的平面度。
密封百科知識內容選自《實用機械密封技術問答》
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